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叠层式压电驱动器

        采用多层压电陶瓷薄片按照一定极性方向组合而成,在直流电压控制下,多层陶瓷的驱动力和位移叠加输出,从而实现沿长度方向稳定高效的伸缩,具有位移分辨率高(可达到亚纳米级)、驱动力大、响应速度快等特点,主要分为位移放大装置和主动减震装置。


产品应用:
位移放大装置:
通过叠层式驱动器配合放大机构,将压电陶瓷的直线位移进行放大,并在其位移的垂直方向进行输出的装置。可应用于纳米定位控制台、扫描电子显微镜、激光调谐、高速高压流体阀门等微位移装置。


主动减振装置:
通过高精度振动传感器测量感知环境微振动状态,通过控制器算法实时控制叠层式驱动器对基台施加反向振动激励,从而抵消环境振动对承载设备的影响,保障设备平稳可靠运行。


主要特点:
陶瓷性能高、寿命长、带宽大、大出力、大位移、一致性高、耐压高